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单晶硅炉保温热场

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摘要

产品由经改性,硬化的PAN硬质毡、C/C-2D薄板(厚1.5mm),石墨纸和炭化硅涂层复合而成。

产品介绍

一、产品结构

   隔热基体是PAN硬质毡(或泡沫炭、根据炉型选择),基体内表面(热面)是C/C-2D板强化层,外表面(冷面)是石墨纸贴面,端面,孔,槽涂刷炭化硅涂层,隔热基体处于全封闭状态。

 

二、产品特点

(1)隔热性能好,同软炭毡相近;

(2)高密度C/C-2D板强化层,抗机械损伤,抗烧蚀、防热辐射,防渗透;

(3)隔热层封闭状态,避免炭粉尘污染;

(4)使用寿命长。

 

    三、实用情况

(1)单晶硅炉隔热筒分别在两家公司20寸和23寸单晶炉上试用,试验炉次已超过50炉次,情况良好,在继续试用中。


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